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处理室，其经由匹配器被供给从所述高频电源经由传送路径传送的高频电力且利用由此生成的处气体的等离子体对被处理基板实施等离子体处理;电力值检测单元，蜂窝式电场公司，其介于所述传送路径与所述匹配器之间，且对输入所述匹配器的高频电力的值进行检测.
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如果电场内部受潮，或者水汽较重时，圆筒蜂窝式电场，高压电源自动检测到电场受潮后，会以较低电压输出，利用输出高压将电场内部的水汽烧干，之后再以高压进行输出，这个功能是电源默认的，用户不需要任何设置。一旦进入工作模式后，电源自动检测和运行。
佛山市洁盟环保科技有限公司是环保设备—废气/油烟处理设备及关键部件的生产厂家，位于广东珠三角之佛山市顺德区，北滘镇桃村工业区。交通方便，北接广州环城高速，东连京珠线（到广州南站20分钟），南接广珠西线高速。我们主张废气/油烟通过蜂窝电场静电式净化技术，使油烟和水分离，收集油烟，排放清新空气和水。实现废气/油烟的清洁排放，给后人留下一片蔚蓝的天空，清新的空气。
等离子体技术处理污染物的原理为：等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强优势的高新技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。
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